2004年成立了第一届微纳制造技术分会，分会成员也从开始的112所中科院单位和高校等、企业较少的状态，不断发展壮大。

现任主任委员为西安交通大学蒋庄德院士，委员共130名，其中微纳技术领域共81名委员，涉及到微纳结构加工、微纳材料制造、微纳表征、微纳能源、微纳传感器等多个研究方向，基本涵盖了当今微纳制造技术的前沿研究方向；超精密加工领域共49名委员，涉及到了精密机床加工、激光加工、超声电解加工、粒子束加工等，可适应我国在核能、大规模集成电路、激光、航空航天等尖端领域的超精密加工技术发展需求。

在中国机械工程学会的指导下和分会全体委员的关心支持下，微纳制造技术分会必将建设成一个和谐、高效、知名的学术团体，以促进我国微纳制造技术的发展，为建设创新型国家做出贡献！