中国机械工程学会微纳制造技术分会成立于2004年。

2018年11月，在成都召开“中国机械工程学会微纳制造技术分会第二届委员会换届大会暨2018年学术研讨会”。王立鼎院士讲到：“回顾中国微纳制造技术的发展，我有良多感慨。美国1987年制作出了静电微电机，当时中国了解的人较少。东南大学的第一个基金课题就是静电微电机，可以说，中国纳米在学术上从90年代正式开启！我和白春礼院士，参加了抚顺召开的第一届纳米会议，提出中国应跟随国际微纳制造技术发展的脚步，并在不同时期也相应地策划支持一些重大项目。2004年成立了第一届微纳制造技术分会，分会成员也从开始的112所中科院单位和高校等、企业较少的状态，不断发展壮大，现在可以说是成千上万了。”最后，王立鼎院士指出，希望能够借助国家制造业规划来发展高端制造技术，使我们的工作跟上国家飞速发展的脉搏，来实现伟大的中国梦。

2019年11月，在广州召开“中国机械工程学会微纳制造技术分会学术论坛暨第二届一次委员会议”。由主任委员蒋庄德院士提议发起了“微纳传感技术与智能应用大赛”，成为中国大学生机械工程创新创意大赛的第七个专业赛事，以激发大学生和研究生对微纳传感技术的兴趣，启迪创新思想，培养传感器方面专业人才，同时加快传感技术创新步伐，促进传感技术产业应用，推动我国传感技术发展。

2020年8月，由中国机械工程学会微纳制造技术分会主办，西安交通大学、大连理工大学、陕西省机械工程学会、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院、西安交通大学（烟台）智能传感技术与系统研究院承办的“中国机械工程学会微纳制造技术分会学术论坛暨第二届二次委员会议”在烟台市党建学院主会议室召开。