2021年10月24日下午，由中国机械工程学会微纳制造技术分会主办，明石创新（烟台）微纳传感技术研究院、西安交通大学（烟台）智能传感技术与系统研究院、教育部微纳制造与测试技术国际合作实验室、微纳制造与纳米测试技术学科创新引智基地等承办的“中国机械工程学会微纳制造技术分会学术论坛暨第二届三次委员会议”在烟台城市党建学院主会议室顺利圆满召开，共约80位分会委员或代表出席了会议。
图1 分会委员与代表合影
会议上半程主持人由分会副主任委员、哈尔滨工业大学的张飞虎教授担任，首先介绍了与会的专家学者：分会主任委员、中国工程院院士、西安交通大学的蒋庄德教授；澳大利亚工程院院士、南方科技大学的章亮炽教授；分会常务委员、中北大学副校长刘俊教授；明石创新集团董事长高峰博士；分会常务委员、中科院上海微系统与信息技术研究所的王跃林研究员；分会常务委员、大连理工大学的康仁科教授；分会总干事、西安交通大学的赵立波教授等。
会议分为三个议程展开，第一个部分为学会增补委员的公布，主任委员蒋庄德院士宣读并为陈明君、曲宁松、李伟、芦小龙、彭瀚旻、闫剑锋、徐琳、庞媛、王莉、林启敬、任炜、刘会聪、周平共13位新任委员颁发聘书。
图2 主任委员蒋庄德院士为新任委员颁发聘书
会议第二个部分为学术报告，由各个领域的专家对其研究内容与研究进展进行学术分享与交流。
南方科技大学的章亮炽院士首先做了“KDP表面的无损微纳加工”的学术报告，章院士首先阐述了KDP材料加工的重要性与难点；结合团队的实际研究工作，章院士介绍了从理论模型切入开展研究的灵感，并详细阐述了KDP加工势函数模型的建立；应用量子力学、分子动力学方法模拟及加工实验验证，展示了该创新方法突破KDP表面加工缺陷限制的广阔前景。
全球能源互联网研究院电力传感技术研究所所长郭经红针对国家电网中传感器的需求与发展，做了题为“电力传感技术发展趋势及展望”的学术报告，郭所长首先重点介绍了电网系统内电力传感器的典型应用场景；接着介绍了电力传感器技术研究进展，郭所长强调虽然我们国家在电力传感器专利数量占优，但是在传感器标准制定领域的话语权仍显不足；郭所长详细介绍了电力传感技术面临的挑战，并对电力传感技术发展趋势进行展望。与会人员对于电网系统内电力传感器需求及技术有了更深刻的理解。
接着，大连理工大学的康仁科教授作了题为“硬脆半导体基体超精密加工技术与装备”的学术报告。面对美国技术封锁，我国对大尺寸硬脆半导体基体的超平整、超光滑、低损伤超精密加工技术的需求；康教授重点介绍了课题组在大尺寸硅片及硬脆晶体基片（蓝宝石，金刚石，氮化镓，激光晶体膜片）加工方法及装备的研究进展：团队提出“以软磨硬”的加工新方法，研制出软磨料砂轮，发明了磨削力在线测量系统，多轴系磨床主轴调整方法，突破“卡脖子”关键技术，研制了国内外首台300mm硅片超精密磨抛机床、300mm硅片全自动磨床。康教授团队始终坚守原始创新，其丰富的研究成果极大鼓舞了与会科研人员。
中北大学副校长刘俊教授做了题为“量子传感与精密测量”的学术报告，刘教授首先介绍了量子通信、量子计算、量子导航等技术的发展历程；结合量子传感的机理，重点介绍了量子技术在几何量、力、磁场、势能、电场、温度等参量测量的巨大优势；最后，刘教授重点介绍了中北大学团队在超快时间自旋调控系统、固态自旋量子相机、原子宽频电场测试系统、微腔光量子陀螺等量子精密测量领域的研究进展。刘教授前沿且扎实的科研成果得到与会人员的一致肯定。
会议茶歇后，下半程主持人由西安交通大学的赵立波教授担任，会议继续开展学术研讨与交流。
西安航天远征流体控制股份有限公司的李伟主任针对航空发动机压力传感，做了题目为“额液体火箭发动机特种压力传感器技术”的学术报告。李主任首先阐述了火箭发动机特种压力传感器的重大需求、针对液体火箭发动机压力测试技术特点，介绍了特种压力传感系统发展目标。接着，李主任详细介绍了团队在低温压力传感器、稳压复合传感器的研究进展。最后，李主任也呼吁与会专家积极参与航天项目并开展学科交叉合作，得到与会人员的积极回应。
接着，华中科技大学的黄永安教授做了题为“新型飞行器柔性智能蒙皮测量技术”的学术报告，黄教授首先介绍了柔性电子的制造难点，指出不可拉伸电子共性于硬体复杂曲面的共性问题，提出了软铰链剪纸技术与自愈合材料结合的新型加工方法。黄教授重点介绍了研究团队的最新研究成果：集成温度、气压、位置、振动、流速测量的仿飞鸟感知技术系统，多传感器协同网络，以及课题组研究成果在飞行器振动分析，结构健康/冲击监测，大飞机尾翼风洞试验等国家重大需求场景下的应用。
最后，来自西安交通大学的田边教授做了题为“薄膜温度传感器技术进展”的学术报告。田教授首先介绍了高温温度传感器的国内外研究现状，接着重点展示了研究团队在平面陶瓷基高温薄膜温度传感器、异构面探针式薄膜温度传感器、柔性测温技术方面的最新研究成果，解决了发动机点火试车的超高温度传感、突破超高温度传感中信号干扰等难题。
学术报告环节结束后，分会主任委员蒋庄德院士依次为各位报告人颁发了报告证书，并合影留念。
图3 主任委员蒋庄德院士给报告人颁发证书
会议第三个议程，分会主任委员蒋庄德院士做总结陈词。蒋院士指出分会报告十分精彩，大会报告总体上涉及到了超精密加工、微纳制造与传感两个方面，七位报告人的学术工作扎实，研究成果丰硕，报告令人耳目一新。蒋院士鼓励与会工作人员要以康教授为榜样，积极承担科研人员的责任，投身“卡脖子”关键技术的原始创新研究。最后，蒋院士积极肯定了第二届“明石杯”微纳传感技术与智能应用赛的成功举办，希望委员们积极支持本赛事，鼓励更多高校的学生参与其中，进一步扩大社会影响。
图4 主任委员蒋庄德院士总结讲话
至此，2021中国机械工程学会微纳制造技术分会学会论坛暨第二届三次委员会议圆满结束。
