面向航空航天领域探针式多测点薄膜温度传感器（研究生组二等奖）

针对高温流场环境测试需求，设计并制备探针式多测点薄膜温度传感器，实现对流场无干扰的快响应温度测量。该传感器选用耐高温、抗震抗爆性良好的三维氮化硅与氧化铝陶瓷基底。中空结构设计，便于高温气流引入后端形成温压复合传感器。尾部设有螺纹连接，使传感器便于安装被测环境中并配备延长套管增加位置容错率。基于Seebeck效应，WRe26和In2O3两种材料组合成热电偶，利用磁控溅射技术在复杂立体陶瓷基底进行三维立体异面成膜，并在冷端处设计补偿系统。在超高温环境下，传感器采用多层复合(Al2O3-SiC-Al2O3)薄膜对敏感层保护，减少热挥发效应，保证探针式薄膜温度传感器的测试稳定性。