基于相位测量偏折的晶圆表面面形检测系统利用光线的偏折来确定待测物体的三维信息，通过向被测晶圆投射经光强编码的正弦调制条纹图像，并根据经被测晶圆表面调制而变形的条纹图得到被测晶圆表面的面形数据。
相位测量偏折术不受被测晶圆口径大小的限制，测量动态范围可达光学干涉方法的1000倍以上，并且对振动等环境干扰不敏感，实现大口径晶圆的高精度在线测量。
主要研究内容包括：
1. 逆向哈特曼测量光路设计。
2. 运用数字相移、相位展开对采集到图片进行处理。
3. 运用波前重构技术还原面形信息。
4. 光线追迹技术对系统标定误差的消除。
5. 基于机器视觉的晶圆圆心定位。
6. 基于Arduino控制器的运动控制系统
